RF Generator详解:概念与原理探究
知识星球里的学员问:RF Generator的工作原理能介绍下吗?它的主要作用是什么?
什么是RF Generator?
RF Generator即射频发生器,主要用于产生射频能量,促进等离子体生成和维持。
什么是RF电流?
RF(Radio Frequency)是指电磁波频率在3 kHz到300 GHz范围内的频率。而射频电流是指在射频范围内的交变电流。普通的交流电频率在50/60 Hz,射频电流的频率远远高于普通交流电。
RF Generator主要参数?
以某款RF Generator为例:
频率范围:
Range 1: 100kHz – 320kHz
Range 2: 320kHz – 1MHz
Range 3: 1MHz – 3.2MHz
Range 4: 3.2MHz – 10MHz
Range 5: 10MHz – 35MHz
Range 6: 35MHz – 150MHz
一般的RF Generator可以覆盖广泛的频率范围,而且频率是可调的
输出振幅
值> 60mVrms,连续可调。60mVrms表示输出信号的有效值为60毫伏。这个值表示输出信号的平均电压水平。
输入电压
值: 110/220V ± 10%,50Hz ± 5%。意思是支持110V或220V电压的50Hz的交流电。
调制能力:FM, AM
内部: 1kHz正弦波
外部: 50Hz – 20kHz
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作者:芯片智造